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peek光罩盒


PEEK光罩盒

光罩是芯片制造中光刻工艺使用的图形母版,以石英玻璃为基板并涂布铬金属遮光,利用曝光原理,光源通过光罩投影至硅晶圆可曝光显示特定图案。任何附着于光罩上的尘埃或刮伤皆会导致投影成像的质量劣化,因此需避免光罩的污染,以及避免因碰撞或摩擦等产生微粒影响光罩的洁净度。

为避免光罩起雾、摩擦或位移造成损伤,光罩盒因此一般采用抗静电、低脱气、坚固耐用的材料。

PEEK 高硬度、极少的颗粒产生量、高洁净度、抗静电、耐化学腐蚀性、耐磨损性、耐水解性、非常优异的电介质强度及出色的耐辐射性能等特性,在生产、传送以及处理光罩过程中,可使光罩片存储在低脱气和低离子污染的环境中。



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