PEEK晶圆载具
晶圆载具顾名思义就是用来装载晶圆，有晶圆承载盒、晶圆传送盒、晶舟等。晶圆存放在运输盒内的时间在整个生产过程中占比很高，晶圆盒本身的材质、质量和干净与否都可能会对晶圆质量产生或大或小的影响。
晶圆载具一般采用耐温、机械性能优异、尺寸稳定性以及坚固耐用、防静电、低释气、低析出、可回收再利用的材料，不同制程采用的晶圆载具所选用的材质有所不同。
PEEK可用于制作一般传输制程用载具，一般采用抗静电PEEK，PEEK拥有众多优异性能，耐磨性、耐化学腐蚀性、尺寸稳定性、抗静电性和低脱气，有助于防止颗粒污染并提高晶圆搬运、存储和转移的可靠性。