peek CMP固定环

发布时间：2023-05-26 16:22:06

CMP 固定环是用来在硏磨过程中对晶圆进行固定晶圆的， CMP 固定环的材料选材和设计要合理. 尤其是 CMP 固定环的底面, 如果十分平坦,则晶圆的性能品相也会愈加完美.

主要优点：

1、较高的尺寸稳定性；在高温条件下能够维持模量，提高更高的工艺性能及产品性能。

2、易于加工性；

3、良好的机械性能；适用于耐冲击，快速设备装配。

4、良好的耐化学腐蚀性；能够经受大多数化学制品的腐蚀，有利于保护零部件并延长其使用寿命。

5、良好的耐磨性。

6、能降低综合系统成本，有效的降本增效。